[发明专利]集成抗PID装置的板式PECVD系统及钝化镀膜方法

摘要

本发明涉及一种集成抗PID装置的板式PECVD系统及钝化镀膜方法，属于太阳能电池制造技术领域，解决了现有工艺钝化镀膜时间长、钝化仓和PECVD工艺仓温差大，易于出现碎片的问题。本发明的集成抗PID装置的板式PECVD系统，包括进料仓、抗PID装置、PECVD工艺仓和出料仓；抗PID装置包括气瓶、诱导装置和钝化仓；诱导装置能够在常温下诱发O2产生O3。钝化镀膜方法，包括对物料进行第一次预热，物料进入钝化仓；通入氧气，打开诱导装置，物料表面形成钝化膜；在加热区内对物料进行第二次预热；物料经过成膜工艺区和降温区。本发明实现了常温下形成SiO2钝化膜。