[发明专利]检测光学镜组的质量的设备与方法在审
| 申请号： | 202010036144.8 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111122439A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 谈智伟;吴宗颖 | 申请（专利权）人： | 仪锐实业有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种检测光学镜组的质量的设备与方法。所述设备具有波前传感器、波前修正组件以及镜组测量组件。所述波前传感器可测量第一镜片组件的第一波前，以使波前修正组件根据第一波前产生第一模拟波前。镜组测量组件可根据第一模拟波前与第二镜片组件信息获得镜组波前以知悉光学镜组的质量。本发明所述的设备与方法可提升检测光学镜组质量的效率并降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 光学 质量 设备 方法 | ||
【主权项】：
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