[发明专利]薄膜电阻元件在审
| 申请号： | 202010037087.5 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112992448A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邱正中;卢契佑 | 申请（专利权）人： | 光颉科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01C7/00 | 分类号： | H01C7/00;H01C1/14 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 赵平;周永君 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种薄膜电阻元件，将氮化钽(TaN)层设置在基板的上表面上，五氧化二钽(Ta |
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| 搜索关键词： | 薄膜 电阻 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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