[发明专利]一种聚碳酸酯作为紫外光刻胶材料的应用有效
| 申请号： | 202010038048.7 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111253563B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 伍广朋;陆新宇;齐欢 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C08G64/42 | 分类号： | C08G64/42;C08G64/34;C08G64/24;C08G64/22;G03F7/004 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 白静兰 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种聚碳酸酯作为紫外光刻胶材料的应用，所述聚碳酸酯是含有光敏基团或产酸基团侧基中的一种或同时含有的均聚物或共聚物。本发明将产酸基团或/和光敏基团引入聚碳酸酯主链，抑制了光酸的扩散，并结合了聚碳酸酯易断链的特点，使光刻胶具有高灵敏度、对比度、分辨率以及低线边缘粗糙度的特点，弥补了一般化学放大型光刻胶材料的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚碳酸酯 作为 紫外 光刻 材料 应用 | ||
【主权项】：
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