[发明专利]一种自BOG中分离纯化氢与氦的系统与方法在审
| 申请号： | 202010038470.2 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111086974A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王志高;高颖;吴海雷;马传龙 | 申请（专利权）人： | 苏州睿分电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50;C01B3/56;C01B23/00;B01D53/047;B01D53/22 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种自BOG中分离纯化氢与氦的系统及方法，所述系统包括依次连接的膜分离单元与吸附分离单元；所述膜分离单元包括依次连接的初级膜分离装置与深度膜分离装置；所述吸附分离单元包括串联连接的变压吸附单元与氢氦分离纯化单元。本方案开创性的发明了结合了膜分离与吸附分离等技术，实现了氦气和氢气从BOG中高效提取分离并分别纯化到电子级纯度。相对于现有技术，本发明大幅减少了能耗、缩短了系统流程，实现了模块化组合，从而提高了应用的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 bog 分离 纯化 系统 方法 | ||
【主权项】：
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