[发明专利]感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用在审
| 申请号： | 202010039782.5 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111413849A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 钱晓春;胡春青;龚艳 | 申请（专利权）人： | 常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人： | 赵慧 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用。其中感光性组合物包括以下原料：树脂组分和磺酸酯光酸产生剂。能够用于碱显影液溶解曝光的正型感光性组合物，形成具有优异的分辨率、灵敏度和良好对比度的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 组合 及其 制备 方法 图案 形成 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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