[发明专利]一种减少绕镀和色差的PERC太阳能电池制作方法有效
申请号: | 202010040515.X | 申请日: | 2020-01-15 |
公开(公告)号: | CN111081823B | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 姜泽光;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/068 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 金丽英 |
地址: | 528100 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种减少绕镀和色差的PERC太阳能电池制作方法,包括制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面沉积钝化膜、正面沉积减反膜、背面激光、丝网印刷和烧结步骤,所述背面沉积钝化膜步骤在硅片背面依次沉积背面氧化铝膜、背面氧化硅膜、第一层背面氮化硅膜,在所述正面沉积减反膜步骤之后、所述背面激光步骤之前增加背面沉积第二层氮化硅膜步骤,所述背面沉积第二层氮化硅膜步骤在硅片背面沉积折射率低但膜厚较厚的第二层背面氮化硅膜。采用本方法制成的电池片,正面外观颜色较深且偏黑,边缘绕镀较少,正面膜色均匀无色差出现,能满足黑背板组件对电池片正面外观膜色严苛的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 减少 色差 perc 太阳能电池 制作方法 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的