[发明专利]光学测量设备和用于测量工件翘曲的方法在审
| 申请号： | 202010042350.X | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111609804A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王铭汉;胡逸群;施孟铠;陈宣伃 | 申请（专利权）人： | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 蕭輔寬 |
| 地址： | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学测量设备和用于测量工件翘曲的方法，所述光学测量设备包含调整设备和至少两个图像捕获装置。所述图像捕获装置具有景深并且附接到所述调整设备。通过所述调整设备调整所述图像捕获装置，以使得工件的待测量部分位于所述图像捕获装置的所述景深内。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 设备 用于 工件 方法 | ||
【主权项】：
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