[发明专利]离子产生装置在审
| 申请号： | 202010042797.7 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112786417A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 崔基雄;崔钟武;朴兴雨;李河圣 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种离子产生装置，所述离子产生装置包括电弧室以及电子源装置。所述电子源装置包含阴极以及灯丝。所述灯丝设置在所述阴极。所述阴极具有主体及设置在所述主体上的盖。所述盖具有接收面及与接收面相对的发射面。所述发射面具有凸面朝向所述电弧室的所述接收区域，其中所述接收面的中心区域是平表面，并且中心区域被锥形侧壁包围。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 产生 装置 | ||
【主权项】：
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