[发明专利]一种制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法在审
| 申请号： | 202010043856.2 | 申请日： | 2020-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111244586A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 阮久福;姬生伟;张娜;赖伟恩 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20;H01P11/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开一种制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法,首先在一定厚度的平滑石英玻璃片旋涂AZ4562光刻胶，并显影得到该结构凹槽，然后蒸镀金属种子层覆盖该石英玻璃片表层及凹槽，接着加入(NH |
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| 搜索关键词： | 一种 制备 周期性 齿轮 赫兹 带通滤波器 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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