[发明专利]一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法

摘要

本发明公开一种基于石墨烯包覆镓基合金液滴的微流体惯性开关制造方法，属于微机电系统微加工技术领域。该方法首先，制造石墨烯包覆的镓基合金液滴。其次，依次制作含有固定电极的玻璃盖片、含有微通道的PDMS基片。最后，将玻璃盖片和PDMS基片的表面进行氧等离子体处理，并将石墨烯包覆的镓基合金液滴放入微通道中，完成二者的键合。本发明制造的微流体惯性开关是利用具有高润滑性和高导电性的石墨烯对镓基合金液滴进行包覆，可以有效避免镓基合金的氧化层对开关中微通道表面的粘附，同时仍然可以保持液滴的良好导电特性。