[发明专利]利用反球差校正进行纵向加工的方法及应用有效
| 申请号： | 202010045430.0 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111215768B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;樊华;陈岐岱 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B23K26/55 | 分类号： | B23K26/55;B23K26/082;B23K26/06 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了利用反球差校正进行纵向加工的方法及应用，属于飞秒激光加工技术领域，该方法通过空间光调制器对飞秒激光焦点进行反球差校正，在待加工材料内部较深处获得沿纵向显著拉伸的焦斑，从而直接利用此拉伸焦斑在待加工材料内部进行连续扫描，来实现大深径比的纵向加工。利用反球差校正获得沿纵向显著拉伸的线型焦斑，能够在材料内部一次性加工出具有大深径比的纵向结构，而无需通过多次加工来累加结构的纵向深度，避免了多次加工导致的结构交错，从而同时提高了加工效率和结构质量；无需降低数值孔径NA来增加加工深度，从而提高了加工分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 反球差 校正 进行 纵向 加工 方法 应用 | ||
【主权项】：
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