[发明专利]高纯度无机化合物二氯硅烷分装储存容器的残气回收方法

摘要

本发明公开了一种高纯度无机化合物二氯硅烷(SiH2Cl2)分装储存容器的残气回收方法，包括：在连接该回收管路后进行气密测试，再以该残气回收装置对该钢瓶填充不会与二氯硅烷产生反应的安定气体，利用压力差将二氯硅烷排放至该残气回收装置进行回收，再次填充安定气体至该钢瓶内而形成正压后关闭该钢瓶的阀口，将该回收管路以洗涤塔形成气液两相接触而吸收有害气体，确认该回收管路在安全状态下进行拆管，通过压力差形成有效的残气回收，并在残气回收作业前进行气密测试，而在残气回收作业后清除残留有害气体，借此在有效阻隔外部气体的条件下，达到安全回收二氯硅烷残气的功效。