[发明专利]高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法有效
| 申请号： | 202010047366.X | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113137565B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟学 | 申请（专利权）人： | 蔡孟学 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C5/00 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 李岩 |
| 地址： | 中国台湾彰化*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高纯度二氯硅烷分装储存容器的残气回收及填充方法，其中，残气回收步骤依序包括有：钢瓶外观检查、残气重量检测、残气回收配管作业、气密测试、填充安定气体、残气回收、真空处理、填封钢瓶、管路后处理及钢瓶移至待充填区，二氯硅烷填充步骤依序包括有：钢瓶外观检查、钢瓶重量确认、填充配管作业、气密测试、真空处理、确认环境温度、管路冷却水循环、二氯硅烷填充、管路后处理、钢瓶移至成品区及成品泄漏测试，通过上述步骤形成多重安全防护，借此在有效阻隔外部气体的条件下，达到安全回收二氯硅烷残气与安全填充二氯硅烷的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 纯度 硅烷 分装 储存 容器 回收 填充 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于蔡孟学，未经蔡孟学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010047366.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：高纯度无机化合物二氯硅烷分装储存容器的残气回收方法
- 下一篇：涡轮增压器
