[发明专利]清洗方法以及清洗装置有效
| 申请号： | 202010048817.1 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111822416B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 中川政则;里德·多恩 | 申请（专利权）人： | 杉野机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;刘春燕 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够省略不需要清洗的对象部位的清洗的清洗方法以及清洗装置。使粒子束透过对象物(17)来扫描所述对象物(17)的结构，将得到的对象物(17)的结构的扫描数据(33e)与对象物(17)的3D模型(33b)进行比较并提取异物(33i)，确定作为包含异物(33i)的对象部位(33c)的清洗位置，从用于清洗全部的对象部位(33c)的整体程序(33f)中，执行用于清洗清洗位置的部分程序(33h)，从而清洗对象物(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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