[发明专利]非对称的铁电功能层阵列、铁电隧道结多值存储单元的制备方法

摘要

本发明提供了非对称铁电功能层阵列、非对称铁电隧道结多值存储单元的制备方法，非对称铁电功能层阵列由N个铁电功能层和N‑1个绝缘层交替堆叠形成，制备方法包括：提供电极层，在该电极层上表面生长N个平行于第一平面方向的铁电功能层，且相邻的铁电功能层之间通过绝缘层隔离，将该铁电功能层晶化，以使N个铁电功能层材料呈现铁电性能；N个铁电功能层的形成工艺期间的物理参数不同，以使N个铁电功能层呈现不同的矫顽场值。物理参数包括铁电功能层材料类型、铁电功能层材料掺杂方式、铁电功能层晶化条件以及铁电功能层材料的厚度。由此制备的存储单元可以实现多种不同的存储状态，从而大幅度提高存储密度以及单位存储容量。