[发明专利]轴孔的同轴度加工误差的光学检测装置及光学检测方法有效
申请号: | 202010052937.9 | 申请日: | 2020-01-17 |
公开(公告)号: | CN111220097B | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 曹玉岩;王建立;李洪文;王志臣;周超;王洪浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明公开一种轴孔的同轴度加工误差的光学检测装置及光学检测方法。光学检测装置包括主光学组件及两个辅光学组件,主光学组件包括两维调整平台及全站仪;辅光学组件包括平板透镜、第一、第二千分表及五维调整架,五维调整架包括调整架底座、回转轴承、第一、第二及第三调整机构,回转轴承与调整架底座转动连接,用于带动平板透镜、第一、第二千分表转动,第一调整机构用于调整调整架底座的位置和倾斜,第二、第三调整机构用于调整平板透镜的倾斜及位置,平板透镜具有辅十字丝,第一千分表用于量测轴端面与回转轴承的轴线的垂直偏差,第二千分表用于量测轴孔面与回转轴承的中心的偏差。光学检测装置及光学检测方法具有较高的检测精度。 | ||
搜索关键词: | 同轴 加工 误差 光学 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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