[发明专利]侦测WAT测试中电弧放电的装置和方法在审
| 申请号： | 202010053205.1 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111257727A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 肖尚刚;周波 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/311 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种侦测WAT测试中电弧放电的方法包括如下步骤：步骤一、采用图像识别装置识别出测试键的测试前图像。步骤二、采用WAT测试机台对测试键上的各测试结构进行WAT测试。步骤三、采用图像识别装置识别出测试键的测试后图像。步骤四、比较测试前图像和测试后图像。如果测试前后图像中的测试结构的图像存在差异，则判断WAT测试中发生电弧放电并停止WAT测试。如果测试前后图像中的测试结构的图像不存在差异，则判断WAT测试中未发生电弧放电并继续下一条测试键的WAT测试。本发明还公开了一种侦测WAT测试中电弧放电的装置。本发明能在第一时间侦测电弧放电，从而最大化减轻电弧放电对晶圆质量的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 侦测 wat 测试 电弧 放电 装置 方法 | ||
【主权项】：
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