[发明专利]光栅波导多微流道芯片的制造方法有效
| 申请号： | 202010053511.5 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111151317B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 陈昌;刘博;豆传国 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;G01N21/63 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 黄少波 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成下包层；在所述下包层上形成波导层；以所述波导层形成光栅波导；所述光栅波导包括出射光栅；形成第一数量的微流道，形成微流体组；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 波导 多微流道 芯片 制造 方法 | ||
【主权项】：
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