[发明专利]带电粒子束加工设备扫描系统校准标定方法有效
| 申请号： | 202010054001.X | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111261313B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 黄小东;韦寿祺;费翔;张彤;董阳;黄国华;梁祖明;郭文明;唐强 | 申请（专利权）人： | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/093 | 分类号： | G21K1/093 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带电粒子束加工设备扫描系统校准标定方法，首先建立n相绕组励磁电流指令与带电粒子束在工作平面上对应相绕组扫描轴线上相位移的关系，建立带电粒子束在工作平面上合位移与理想相位移的一一对应关系；并获得n相绕组扫描轴线的夹角；然后根据夹角把合位移的理想n相绕组扫描轴线上相位移校正成n相绕组扫描轴线上相位移；最后根据相励磁电流指令与相位移的关系、合位移与n相绕组扫描轴线上相位移的关系，建立在工作平面上带电粒子束扫描点坐标与n相绕组励磁电流指令的对应关系，完成校准标定工作，扫描系统将按照校准标定数据精确控制带电粒子束扫描轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 加工 设备 扫描 系统 校准 标定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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