[发明专利]带电粒子束加工设备聚焦系统校准标定方法有效
| 申请号： | 202010054663.7 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111261314B | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 黄小东;韦寿祺;费翔;张彤;董阳;黄国华;梁祖明;郭文明;唐强 | 申请（专利权）人： | 桂林狮达技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/093 | 分类号： | G21K1/093 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种带电粒子束加工设备聚焦系统校准标定方法，通过建立带电粒子束扫描点合位移与扫描装置的理想n相绕组扫描轴线上相位移的一一对应关系、校正相绕组扫描线偏差、试验建立相绕组相位移数据与相绕组励磁电流的数学关系，推导出扫描点坐标与n相绕组励磁电流指令的数学模型，由励磁电流指令数学模型控制特征扫描线的点扫描，获得点扫描对应的精确聚焦电流指令，建立特征扫描线上扫描点坐标与聚焦电流指令的数学模型，最后推导出扫描域内扫描点坐标与聚焦电流指令的数学模型，完成校准标定工作，扫描系统将按照校准标定数据精确控制带电粒子束扫描轨迹，而聚焦系统将按照校准标定数据同步精确控制每个扫描点的聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 加工 设备 聚焦 系统 校准 标定 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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