[发明专利]一种片上微型电子源及制造方法、电子源系统、电子设备在审
| 申请号： | 202010055354.1 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN113140434A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 魏贤龙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01J3/02 | 分类号： | H01J3/02;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郭化雨 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种片上微型电子源及其制造方法、电子源系统、电子设备，其中片上微型电子源包括衬底，衬底上形成有驱动电极对，驱动电极对存在间隙，间隙中形成有电子隧穿结，驱动电极对可以用于驱动电子隧穿结发出电子束，在衬底上方可以固定聚焦电极，聚焦电极上形成有纵向贯穿聚焦电极的聚焦通道，用于在电子束通过时减小电子束的束斑尺寸。也就是说，本申请实施例中，可以通过驱动电极驱动电子隧穿结发出电子束，电子隧穿结无需穿过多个材料层，具有更高的发射效率，通过聚焦电极可以对电子束进行聚集，从而减小电子束的束斑尺寸，这样可以得到发射电流较大，且束斑尺寸较小的电子束。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 电子 制造 方法 系统 电子设备 | ||
【主权项】：
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