[发明专利]薄壁自由曲面光学元件夹持变形的测量装置及其使用方法

摘要

本发明公开了一种薄壁自由曲面光学元件夹持变形的测量装置及其使用方法，包括工作架，所述工作架的内部安装有样品台、图像发生机构、激光发生机构、图像采集机构和升降机构；所述图像发生机构、所述激光发生机构和所述图像采集机构皆位于所述样品台的上方，所述样品台上安装有用于夹持薄壁自由曲面光学元件的夹持结构；所述夹持结构包括第一夹持部、第二夹持部、转轴和驱动所述转轴转动的驱动件，所述第一夹持部和所述第二夹持部分别与所述转轴铰接，所述第二夹持部与所述转轴之间设有复位弹性件。本发明其测量装置可适用于测试分析凹形曲面薄壁光学元件/凸形曲面薄壁光学元件的装夹方式和装夹载荷对光学元件面型和位置精度的影响。