[发明专利]硅粉过滤系统

摘要

本发明公开了一种硅粉过滤系统，包括相连的主过滤器和残液过滤器，液体氯硅烷输送至主过滤器中，氯硅烷液体通过金属膜元件的微孔，由清液出口导出，导入后续钢构加热器以进行后续工艺流程，硅粉和其它颗粒杂质则被拦截在金属膜元件外部，主过滤器将滤除的硅粉和残液输入残液过滤器中，残液过滤器对硅粉和残液加热，将气态的氯硅烷经由氯硅烷出口输出，加热置换干净的硅粉由硅粉出口输出进行收集。本发明的硅粉过滤系统对还原尾气中的硅粉进行了有效拦截，极大的减少了硅粉进入钢构及后续系统中的可能性，保证了系统的稳定安全运行，提高了精馏精制产品质量，同时实现硅粉干燥再利用。