[发明专利]表面及亚表面一体化共焦显微测量装置和方法

摘要

本发明公开了表面及亚表面一体化共焦显微测量装置和方法，装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块、暗场共焦探测模块和反射共焦探测模块；环形光照明模块包括激光器、扩束镜、偏振片一、凹面锥透镜和半反半透膜一；环形光扫描模块包括二维扫描振镜、扫描透镜、管镜、物镜和待测样品；暗场共焦探测模块包括半反半透膜二、光阑、偏振片二、聚焦透镜一、针孔一和相机一；反射共焦探测模块包括偏振片三、聚焦透镜二、针孔二和相机二。本发明通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品表面反射信号与亚表面散射信号，可同时获取纳米级表面划痕、磨损及亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息，兼具表面及亚表面缺陷一体化检测功能。