[发明专利]一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法有效
| 申请号： | 202010059128.0 | 申请日： | 2020-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111239155B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;刘辰光;姜勇;刘婧;陈刚 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;南京恒锐精密仪器有限公司;江苏锐精光电研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88;G01N21/01;G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种轴向差动暗场共焦显微测量装置及其方法，该装置包括环形光照明模块、环形光扫描模块和差动共焦探测模块；通过照明光束整形与互补孔径遮挡探测，有效分离样品反射信号与散射信号，获取纳米级亚表面裂痕、气泡等缺陷的三维分布信息；通过差动共焦探测，提高了测量系统轴向的灵敏度、线性和信噪比，可显著抑制环境状态差异、光源光强波动、探测器电气漂移等引起的共模噪声。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴向 差动 暗场 显微 测量 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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