[发明专利]一种面发射激光器阵列有效
| 申请号： | 202010059375.0 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111146691B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 邹永刚;田锟;马晓辉;范杰;徐英添;张贺;王小龙;徐莉 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01S5/42 | 分类号： | H01S5/42 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 范盈 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面发射激光器阵列，其包括位于同一芯片上的若干个激光器单管，所述激光器单管纵向设置，且相邻的激光器单管错位排布用于实现向各个激光器单管光束输出区中有源层的载流子侧向注入；且在所述激光器单管的光束输出区设置有浅刻蚀槽，在DBR区设置有深刻蚀槽。本发明中激光器单管沿纵向错位排布的面发射激光器阵列的输出光束横截面为矩形阶梯状，这种光束形状大大降低了光束整形难度，很容易通过光斑剪切和拼接获得高质量高功率密度的输出光束；且通过浅刻蚀槽和深刻蚀槽保证了激光模式的调控和稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 激光器 阵列 | ||
【主权项】：
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