[发明专利]一种薄膜传感器标定装置及方法有效
| 申请号： | 202010061351.9 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111174973B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 从继庆;荆建平;陈昌敏;代泽增 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜传感器标定装置及方法，包括：激波管，激波管包括高压管体和低压管体，高压管体和低压管体之间设有膜片分隔；供气设备，用于给高压管体充气；第一压力传感器，设于低压管体的内壁上；第二标准压力传感器，设于测试端面，测试端面为低压管体远离高压管体一端的内端面；示波器，第一压力传感器和第二标准压力传感器均与示波器电连接；其中，通过给高压管体充气使膜片破裂产生激波，薄膜传感器设于测试端面，第一压力传感器为示波器的触发信号源，示波器采集第二标准压力传感器和薄膜传感器电信号。该标定装置结合标定方法能够准确获得薄膜传感器的动态特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 传感器 标定 装置 方法 | ||
【主权项】：
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