[发明专利]一种相变材料结构、存储器单元及其制作方法在审
| 申请号： | 202010061430.X | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111725397A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 宋志棠;宋文雄;赵进 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及微纳电子技术领域，本发明公开了一种相变材料结构，其包括第一材料层和第二材料层，该第一材料层设于该第二材料层上；该第一材料层的材料为包括钛(Ti)和碲(Te)两种化学元素的化合物，该该第一材料层的材料的化学通式为碲化钛(Ti |
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| 搜索关键词： | 一种 相变 材料 结构 存储器 单元 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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