[发明专利]一种ZnO微米线异质结紫外发光二极管及其制备方法在审
申请号: | 202010061543.X | 申请日: | 2020-01-19 |
公开(公告)号: | CN111180558A | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 阚彩侠;吴裕庭;姜明明;徐娟;周祥博 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/28 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210016 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种ZnO微米线异质结紫外发光二极管及其制备方法,该二极管包括p‑GaN衬底、n‑ZnO:Ga@AgNWs复合微米线、ITO导电玻璃、垫片,n‑ZnO:Ga@AgNWs复合微米线紧贴在p‑GaN衬底和垫片上,一端贴有金属颗粒电极,p‑GaN衬底上镀有合金电极,ITO导电玻璃压在位于p‑GaN衬底上的n‑ZnO:Ga@AgNWs复合微米线上;该二极管的制备方法包括以下步骤:(S1)制备n‑ZnO:Ga@AgNWs复合微米线;(S2)制备p‑GaN/n‑ZnO:Ga@AgNWs异质结构;(S3)在p‑GaN衬底上制备合金电极;(S4)在n‑ZnO:Ga@AgNWs微米线上制备金属颗粒电极;(S5)在p‑GaN/n‑ZnO:Ga@AgNWs异质结构表面压合ITO导电玻璃,即得到ZnO微米线异质结紫外发光二极管。该二极管利用AgNWs修饰n‑ZnO:Ga微米线,提升其紫外发光效率,同时使其紫外发光稳定,该二极管为微米级光电器件,便于使用和制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 zno 微米 线异质结 紫外 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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