[发明专利]LED图形化衬底及其制备方法有效
| 申请号： | 202010061564.1 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111244239B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 徐平;胡耀武;王杰;龚彬彬 | 申请（专利权）人： | 湘能华磊光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/22 | 分类号： | H01L33/22;H01L33/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人： | 于淼 |
| 地址： | 423038 湖南省郴*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种LED图形化衬底及其制备方法，涉及半导体领域，制备方法包括：提供蓝宝石衬底；对蓝宝石衬底进行常规处理后，将其置入电子束真空镀膜反应腔内蒸镀Al单质薄膜；对蒸镀有Al单质薄膜的蓝宝石衬底进行干法刻蚀，在Al单质薄膜的表面形成多个V形坑；将形成了多个V形坑的蓝宝石衬底置入等离子体增强化学气相沉积反应腔，在Al单质薄膜远离蓝宝石衬底的一侧沉积SiO |
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| 搜索关键词： | led 图形 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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