[发明专利]多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法在审
| 申请号： | 202010062867.5 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111151504A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;曲宏波;刘应全;张潼;蔡爱梅;张征;张邦洁 | 申请（专利权）人： | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 471023 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了多晶硅清洗机和清洗多晶硅的方法，其中，多晶硅清洗机包括：本体和惰性气体喷吹装置，本体内设有机械手和顺序布置的酸腐蚀槽、第一快速冲洗槽、第二快速冲洗槽和纯水过渡槽；惰性气体喷吹装置包括输气管道和多个风刀喷口，输气管道伸入本体内并延伸至酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽上方；多个风刀喷口设在输气管道上并沿输气管道的走向间隔分布，且多个风刀喷口分别独立地朝向酸腐蚀槽和第一快速冲洗槽区域。该多晶硅清洗机结构简单、安装方便、投资小、见效快，能有效解决多晶硅物料在酸洗过程中酸与空气接触而造成的多晶硅物料二次污染的问题，保证清洗质量和清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司，未经洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010062867.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种波导保护装置及微波热解设备
- 下一篇：印染厂污水处理过程无人监控系统
