[发明专利]薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202010064575.5 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111562149A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 铃木将人;中谷郁子;富松聪;佐藤诚 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/32;G01N23/2005;H01J37/02;H01J37/20;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置，能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序：从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工，从而制作出薄膜试样片(1)，并且制作出配置于试样(S)薄膜试样片(1)的厚度方向(x)的一侧并使薄膜试样片(1)连接于试样(S)的连结部(3)的工序；使试样(S)绕法线方向(z)旋转的工序；使对薄膜试样片(1)进行保持的探针连接于薄膜试样片(1)的工序；以及从与法线方向(z)交叉的第3方向向连结部(3)照射会聚离子束(FIB3)从而使薄膜试样片(1)从试样(S)分离出来的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 试样 制作方法 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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