[发明专利]一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法在审
| 申请号： | 202010064941.7 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111103237A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 王瑞;梅文辉 | 申请（专利权）人： | 中山新诺科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/27 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 赵琴娜 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种激光直接成像闭环实时检测系统及闭环实时检测方法，包括：光源模块；光斑均匀机构，用于将光源模块输出光斑均匀化；空间光调制器，将数字信号转化为光信号；光刻物镜，作为成像元件将调制后的光斑生成图像；第一分光反射镜，用于将图像分成一路作用于待曝光材料的透射输出、另一路作为检测信号的反射输出；数据采集装置，与第一分光反射镜的反射输出端对应以采集图像。通过设置分光反射镜将图像分成反射输出和透射输出，透射输出继承原有曝光功能，反射输出配合数据采集装置实时检测成像质量、成像效果，并可利用采集图像比对原始图像并进行判断，从而形成激光直接成像的闭环控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 直接 成像 闭环 实时 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山新诺科技股份有限公司，未经中山新诺科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010064941.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
