[发明专利]限制结构、线源装置及蒸镀系统在审
| 申请号： | 202010064989.8 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111155057A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 钟纪奇 | 申请（专利权）人： | 绵阳京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供一种限制结构、线源装置及蒸镀系统，涉及蒸镀技术领域。该限制结构包括蒸镀源、两个限制板、吸附孔和吸附组件，其中：蒸镀源固定于一安装面上，用于喷射蒸镀材料；两个限制板均固定于安装面上，并相对设置于蒸镀源的两侧，且两个限制板均具有腔体；吸附孔设于限制板靠近蒸镀源的表面，且与腔体连通；吸附组件与腔体连通，用于通过吸附孔吸附限制板靠近蒸镀源的表面累积的蒸镀材料。本公开的限制结构、线源装置及蒸镀系统可保证产品蒸镀质量，避免限制板因材料累积而脱落，延长限制板的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 限制 结构 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绵阳京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司，未经绵阳京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010064989.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
