[发明专利]一种单晶硅光栅导模共振滤波器有效
| 申请号： | 202010065429.4 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111257982B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 钱林勇;朱雯;李海涛;闫长春 | 申请（专利权）人： | 江苏师范大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/18 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 汤金燕 |
| 地址： | 221116 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅光栅导模共振滤波器。滤波器基于单晶硅光栅制作导模共振结构，实现对线偏振光的光谱滤波，并通过改变单晶硅光栅的周期和高折射率薄膜的厚度来调节共振峰。其中TM线偏振光滤波器包括高折射率薄膜层锗、单晶硅光栅层；TE线偏振光滤波器包括二氧化硅薄膜层、锗薄膜层及单晶硅光栅层。TM、TE模式的线偏振光垂直入射到单晶硅三角形光栅上，在反射方向上实现对入射光谱的滤波。该反射滤光片结构中的单晶硅光栅采用湿法刻蚀，结构加工无需进行反应离子刻蚀，降低了此类器件的制备成本和难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 光栅 共振 滤波器 | ||
【主权项】：
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