[发明专利]一种具有高深宽比的母版的制作方法、母版及其应用在审
| 申请号： | 202010066772.0 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN113138530A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 基亮亮;周小红;刘麟跃 | 申请（专利权）人： | 苏州维业达触控科技有限公司;维业达科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 周志中 |
| 地址： | 215026 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有高深宽比的母版的制作方法，包括：提供一衬底；在衬底上制备一传递层；在传递层制备一具有第一图形凹槽的结构层；对第一图形凹槽进行刻蚀，直至达到所需深度的第三图形凹槽，得到母版，其中，第三图形凹槽包括设置于传递层的第一图形凹槽，及设置于传递层和结构层的第二图形凹槽。本发明还公开一种具有高深宽比的模具的制作方法，对上述母版进行翻版，得到具有高深宽比的模具。本发明还公开了一种具有高深宽比的母版，采用上述具有高深宽比的母版的制作方法制作。本发明还公开一种具有高深宽比的模具，采用上述具有高深宽比的模具的制作方法制作。通过上述方法，便于制作高深宽比的第三图形凹槽，同时对各层的可控性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 高深 母版 制作方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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