[发明专利]用于制造显示面板的新型掩模版及其参数确定方法

摘要

本申请公开一种用于制造显示面板的新型掩模版及其参数确定方法，该新型掩模版中，透光区域中包括衍射过渡区域，衍射过渡区域与遮光区域连接，衍射过渡区域中包括一组或多组间隔排列的过渡图形；过渡图形与透光区域和遮光区域相接的临界线平行；衍射过渡区域中被过渡图形覆盖的区域不透光。本申请在掩模版边缘的衍射过渡区域中设置不透光的过渡图形，过渡图形能增加掩模版的衍射区域宽度，调节多曝光区域的曝光量，使掩模版边缘的曝光剂量均匀分布，达到良好的曝光效果。通过增加过渡图形和边缘距离调整，达到较好的曝光剂量分布，同时还可以达到削弱设备步进精度3σ值对拼接影响的效果，提升了面板的显示效果。