[发明专利]照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法在审
| 申请号： | 202010068085.2 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111505908A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 大阪昇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开照明光学系统、曝光装置以及物品制造方法。照明光学系统使用从光源射出的非相干光对被照明面进行照明。所述照明光学系统包括：积分器，配置于所述光源与所述被照明面之间；光学系统，配置于所述积分器与所述被照明面之间；以及光学元件，配置于所述积分器与所述光学系统之间，所述光学元件包括楔形形状部。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 曝光 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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