[发明专利]伪扩展模式MEMS环陀螺仪在审
| 申请号： | 202010068499.5 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111504294A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | I·P·普里库德库;M·朱蒂 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684;G01C19/5691 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 周阳君 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及伪扩展模式MEMS环陀螺仪。描述扩展模式静电微机电系统(MEMS)陀螺仪。MEMS陀螺仪以扩展模式操作。MEMS陀螺仪包括以扩展模式静电地激发的振动环结构。 | ||
| 搜索关键词： | 扩展 模式 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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