[发明专利]一种基于GB-STED的深层超分辨激光直写系统及其实现方法

摘要

本发明公开了一种基于GB‑STED的深层超分辨激光直写系统及其实现方法。本发明采用一阶高斯贝塞尔光束作为湮灭光，在深入样品内部时仍能保持超分辨直写能力，相位板严格放置于湮灭光扩束系统的前焦面处，湮灭光扩束系统的后焦面严格与物镜入瞳重合，光路紧凑；湮灭光滤波系统采用偏振保持光纤，湮灭光路去掉了偏振片和半波片，从而减少对光斑形貌的影响，并能保证出射光为线性偏振光；激发光和湮灭光各自加入空间滤波，因而聚焦时的光斑形貌最优，能更好控制直写结构的形貌；采用一对耦合调节反射镜调节合束，满足合束镜对更严格的入射角的要求；用相机观察，进行粗略调节，并采用信号探测器观察，进行精细调节，提高调节精度并提高调节效率。