[发明专利]一种光程差放大的多功能综合干涉系统在审
| 申请号： | 202010069404.1 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111156895A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 黄珍献;贾光一;郝志强;黄书彬;贡婧宇 | 申请（专利权）人： | 天津商业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 韩新城 |
| 地址： | 300134 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光程差放大的多功能综合干涉系统，包括氦氖激光器、分光镜、补偿镜、平行平面镜组、平面镜、成像器件；所述分光镜用于将氦氖激光器所发出的经扩束的一束光反射进入到平行平面镜组，经平行平面镜组多次反射后出射，照射到第一平面镜后沿出射路径反向反射进入平行平面镜组，并多次反射后出经分光镜到达成像器件上；经扩束的另一束光透过分光镜，经补偿镜后照射到第二平面反射镜上反射回来，反向经补偿镜、分光镜后照到成像器件上；两束反射光在成像器件上形成相干。本发明可实现等倾干涉和等厚干涉测量中的多种微小位移的测量，还可测量不同液体和透明固体的折射率特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光程 放大 多功能 综合 干涉 系统 | ||
【主权项】：
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