[发明专利]超导约瑟夫森结器件制备方法和超导约瑟夫森结器件有效
| 申请号： | 202010069627.8 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111244260B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李劲劲;曹文会;钟源;钟青;王雪深;徐骁龙 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01L39/02;H01L39/22 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 樊春燕 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种超导约瑟夫森结器件制备方法和超导约瑟夫森结器件。通过超导约瑟夫森结器件制备方法制备的绝缘结构的表面具有倾斜角度。从而，使得引线层与绝缘结构接触时，接触面为倾斜的，解决了传统超导约瑟夫森结器件制备方法中形成的垂直结构导致的容易产生缝隙或断裂的问题。此时，通过CMP技术对引线层生长层的绝缘层进行抛光后，形成绝缘结构，使得传统超导约瑟夫森结器件制备方法中形成的垂直结构的侧壁可以忽略。进而，通过超导约瑟夫森结器件制备方法，有效避免了垂直结构形成的陡直侧壁对引线层的影响，解决了引线层连线中缝隙或断裂等缺陷问题。因此，抑制了超导约瑟夫森结器件连线层中缺陷的形成，提高了器件的质量、成品率和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 超导 约瑟夫 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
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