[发明专利]探针卡装置及其指向性探针

摘要

本发明公开一种探针卡装置及其指向性探针，指向性探针呈长形且包含导电针体与环状绝缘体。导电针体包含行程段及分别自行程段的两端延伸的两个末端段。行程段包含两个宽侧面及两个窄侧面、且仅于一个宽侧面凹设形成有自两个窄侧面的其中之一延伸至其中另一的横向沟槽。横向沟槽的一最大深度为两个宽侧面之间的最大距离的1％～10％。指向性探针的两个末端段能受力而使行程段呈弯曲状、且使其形成的反曲点位于横向沟槽。据此，指向性探针能在作动时的弯曲部位集中在形成有横向沟槽的部位，进而有效地控制作动方向一致性，并且令每个指向性探针在测试的过程中能独立作业且不互相干涉。