[发明专利]工艺环境控制方法及系统在审
| 申请号： | 202010071147.5 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111339636A | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 刘建涛;张立超;刘耀琴;肖托;陈洪 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F119/18 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工艺环境控制方法及系统，该方法包括以下步骤：S1、依据时间序列依次获取工艺环境状态参量截止至k‑1时刻的历史输入值和历史输出值，以构建历史数据向量；其中，k为当前时刻；S2、基于历史数据向量，采用递推最小二乘法计算获得预先建立的模型在k时刻的模型参数；S3、将模型参数输入模型，以得到工艺环境状态参量在k时刻的当前输入值，并发送至被控对象；S4、将k‑1时刻替换为k时刻，并返回步骤S1。本发明提供的工艺环境控制方法及系统的技术方案，不仅可以提高工艺环境状态参量的控制精度，而且解决了处理的数据量大，占用内存大，无法在线估计参数等的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 环境 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
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