[发明专利]一种钼钨合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202010071436.5 | 申请日： | 2020-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN111254396A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 方宏;孙虎民;张雪凤 | 申请（专利权）人： | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/05;C22C27/04 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 李现艳 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳市中国（*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种钼钨合金溅射靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤一、取一定配比的钼粉、钨粉、三氧化钨粉，在保护气氛下进行球磨混料，混合均匀；步骤二、将混合均匀后的物料进行胶套装粉，然后进行冷等静压成型，得坯体；步骤三、将坯体在氢气保护气氛下进行两段式烧结，得烧结坯；步骤四、将烧结坯在氢气或者氩气保护下进行加热，然后进行热轧、校平，最后在氢气或者真空下进行退火，得到钼钨合金板坯；步骤五、将钼钨合金板坯根据所需进行磨削等机加工，得钼钨合金产品；该方法制备步骤简单，制备的钼钨合金溅射靶材纯净度、相对密度均满足TFT‑LCD显示镀膜领域使用需求，且生产成本低，产品尺寸宽泛，便于工业化批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
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