[发明专利]基于激光干涉可消除阿贝误差的步距规校准方法及系统

摘要

本发明主要涉及长度测量技术领域，提供了一种基于激光干涉可消除阿贝误差的步距规校准系统，包括：在空间上可形成任意三棱柱形的3路激光干涉光路，和设置于空间内并与3路激光干涉光路平行的用于波长补偿的第四激光干涉光路，激光器发射的激光光束一部分经分光镜后反射到干涉镜作为参考信号，一部分被投射到反射镜反射后入位于干涉镜内形成测量信号，被测步距规发生位移时，通过测量信号和参考信号并根据测量模型计算得到被测步距规的消除了阿贝误差的位移值，将3路激光光路合成到被测步距规测量线上的测量模型，无论步距规安装在坐标测量机测量平台的任何位置，都可以非常方便地实现基于阿贝原则的激光干涉法步距规测量精度。