[发明专利]4H-SiC MOSFET静态温度特性仿真分析方法在审

专利信息
申请号: 202010073170.8 申请日: 2020-01-22
公开(公告)号: CN111324946A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 王翠霞;曾亮;吴江枫;余有灵;李诚瞻 申请(专利权)人: 同济大学;株洲中车时代半导体有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 耿英
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种4H‑SiC MOSFET静态温度特性仿真分析方法,确定4H‑SiC MOSFET的结构参数,利用Silvaco 平台生成相应的三维结构;通过仿真分析4H‑SiC MOSFET的输出特性和温度特性,得到温度对4H‑SiC MOSFET静态特性及其特征参数的影响规律。本发明基于Silvaco Tcad,建立了SiC MOSFET的三维器件模型,对不同温度下的击穿电压、转移特性和输出特性进行仿真,分析温度对其阈值电压、饱和漏电流、导通电阻等静态参数的影响规律,对于SiC器件在高温高压环境下的结构设计和制造具有重要的指导作用。
搜索关键词: sic mosfet 静态 温度 特性 仿真 分析 方法
【主权项】:
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