[发明专利]清洁片及带清洁功能的输送构件在审
| 申请号： | 202010074360.1 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111498429A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 深道佑一 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | B65G45/10 | 分类号： | B65G45/10 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洁片及带清洁功能的输送构件。提供能够适合用于向基板处理装置内输送的输送构件、且异物去除性能及耐热性优异的清洁片。另外，提供具有这种清洁片和输送构件的、异物去除性能及耐热性优异的带清洁功能的输送构件。本发明的清洁片具备清洁层，该清洁层的400℃下的热失重为5％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 功能 输送 构件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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