[发明专利]一种瞬态移相横向剪切干涉仪及测量方法有效
| 申请号： | 202010075881.9 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111256582B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 王道档;古志雄;孔明;许新科;赵军;刘维;郭天太 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J9/02 |
| 代理公司： | 杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329 | 代理人： | 赵杰香;唐灵 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种瞬态移相横向剪切干涉仪，包括线性偏振器、偏振分光板、平面反射镜、四分之一波片、成像透镜以及偏振相机，其中，所述线性偏振器设置于偏振分光板的上方，所述四分之一波片、成像透镜、偏振相机依次设置于所述偏振分光板的一侧，所述偏振分光板与X轴方向呈45°夹角，所述平面反射镜设置于偏振分光板下方并与偏振分光板平行。相应的，本发明还公开了瞬态移相横向剪切干涉仪的测量方法。通过本发明提供了一种测量速度快、剪切量任意可调的瞬态移相横向剪切干涉仪。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 瞬态 横向 剪切 干涉仪 测量方法 | ||
【主权项】：
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